Lub hom phiaj muaj kev lag luam dav, thaj chaw thov thiab kev loj hlob yav tom ntej.Txhawm rau pab koj kom nkag siab zoo dua lub hom phiaj ua haujlwm, ntawm no hauv qab no RSM engineer yuav qhia luv luv txog cov haujlwm tseem ceeb ntawm lub hom phiaj.
Purity: purity yog ib qho tseem ceeb ntawm kev ua haujlwm ntawm lub hom phiaj, vim tias qhov purity ntawm lub hom phiaj muaj kev cuam tshuam zoo rau kev ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab.Txawm li cas los xij, hauv kev siv tswv yim, cov kev cai purity ntawm lub hom phiaj kuj txawv.Piv txwv li, nrog rau kev loj hlob sai ntawm microelectronics kev lag luam, qhov loj ntawm silicon wafer yog nthuav los ntawm 6 "mus rau 8" mus rau 12 ", thiab lub dav hlau yuav txo los ntawm 0.5um mus rau 0.25um, 0.18um los yog txawm 0.13um.Yav dhau los, 99.995% ntawm lub hom phiaj purity tuaj yeem ua tau raws li cov txheej txheem ntawm 0.35umic, thaum kev npaj ntawm 0.18um kab yuav tsum 99.999% lossis txawm tias 99.9999% ntawm lub hom phiaj purity.
Cov ntsiab lus impurity: impurities nyob rau hauv lub hom phiaj solids thiab oxygen thiab dej vapor nyob rau hauv pores yog lub ntsiab pa phem qhov chaw ntawm deposited films.Cov hom phiaj rau lub hom phiaj sib txawv muaj cov kev cai sib txawv rau cov ntsiab lus impurity sib txawv.Piv txwv li, ntshiab aluminium thiab aluminium alloy lub hom phiaj siv hauv kev lag luam semiconductor muaj cov cai tshwj xeeb rau cov ntsiab lus hlau alkali thiab cov ntsiab lus ntawm cov khoom siv hluav taws xob.
Qhov ntom ntom: txhawm rau txo cov pores hauv lub hom phiaj khoom thiab txhim kho kev ua haujlwm ntawm sputtering zaj duab xis, lub hom phiaj feem ntau yuav tsum muaj qhov ntom ntom.Qhov ceev ntawm lub hom phiaj tsis tsuas yog cuam tshuam rau qhov sputtering tus nqi, tab sis kuj cuam tshuam rau cov hluav taws xob thiab kho qhov muag ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab.Qhov siab dua lub hom phiaj ceev, qhov ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab zoo dua.Tsis tas li ntawd, qhov ceev thiab lub zog ntawm lub hom phiaj tau txhim kho kom lub hom phiaj tuaj yeem txais tau cov thermal stress nyob rau hauv cov txheej txheem sputtering.Qhov ntom kuj yog ib qho ntawm cov cim tseem ceeb ua haujlwm ntawm lub hom phiaj.
Post lub sij hawm: May-20-2022