Ntau tus phooj ywg txog kev saib xyuas lub hom phiaj muaj ntau dua lossis tsawg dua cov lus nug, tsis ntev los no kuj tseem muaj ntau tus neeg siv khoom sab laj txog kev saib xyuas cov teeb meem ntsig txog lub hom phiaj, cia tus editor ntawm RSM rau peb los qhia txog sputtering lub hom phiaj tu kev paub.
Yuav tsum khaws cov hom phiaj sputter li cas?
1, Lub hom phiaj kev saib xyuas
Txhawm rau kom tsis txhob luv luv Circuit Court thiab arcing tshwm sim los ntawm cov kab noj hniav tsis huv hauv cov txheej txheem sputtering, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau tshem tawm cov sputters nyob rau hauv nruab nrab thiab ob sab ntawm cov sputtering khiav, uas yuav pab tau cov neeg siv txuas ntxiv sputter ntawm lub zog ceev ceev.
2 、 Lub hom phiaj cia
Peb pom zoo kom cov neeg siv khaws lub hom phiaj (txawm yog hlau lossis ceramic) hauv lub tshuab nqus tsev, tshwj xeeb tshaj yog lub hom phiaj haum yuav tsum tau muab cia rau hauv lub tshuab nqus tsev kom tiv thaiv oxidation ntawm cov txheej haum los ntawm kev cuam tshuam qhov haum zoo.Raws li kev ntim cov hom phiaj hlau, peb xav tias lawv yuav tsum tau ntim rau hauv cov hnab yas huv yam tsawg kawg nkaus.
3. Lub hom phiaj tu
Thawj kauj ruam yog los ntxuav nrog ib daim ntaub mos mos uas ntub hauv acetone;
Cov kauj ruam thib ob zoo ib yam li thawj kauj ruam, ntxuav nrog cawv;
Kauj Ruam 3: ntxuav nrog dej deionized.Tom qab ntxuav nrog dej deionized, lub hom phiaj yog muab tso rau hauv qhov cub thiab qhuav ntawm 100 ℃ rau 30 feeb.Nws raug nquahu kom siv "lint dawb daim ntaub" los ntxuav oxide thiab ceramic lub hom phiaj.
Cov kauj ruam thib plaub yog ntxuav lub hom phiaj nrog argon nrog kev kub siab thiab cov av qis kom tshem tawm cov khoom tsis huv uas tuaj yeem ua rau arc hauv qhov system sputtering.
4, luv Circuit Court thiab nruj check
Tom qab lub hom phiaj tau teeb tsa, tag nrho cov cathode yuav tsum tau kuaj xyuas qhov luv luv thiab nruj.Nws raug nquahu kom txiav txim siab seb puas muaj luv luv hauv lub cathode los ntawm kev siv lub ntsuas ntsuas thiab megger.Tom qab paub tseeb tias tsis muaj luv luv Circuit Court hauv cathode, kev tshuaj xyuas cov dej xau tuaj yeem ua tiav, thiab dej tuaj yeem nkag mus rau hauv cathode los txiav txim seb puas muaj cov dej xau.
5 、 Ntim thiab kev thauj mus los
Txhua lub hom phiaj tau ntim rau hauv lub tshuab nqus tsev ntim cov hnab yas nrog cov neeg ua haujlwm ya raws.Cov pob txheej sab nrauv feem ntau yog lub thawv ntoo nrog cov txheej txheem tiv thaiv kev sib tsoo nyob ib puag ncig los tiv thaiv lub hom phiaj thiab rov qab los ntawm kev puas tsuaj thaum thauj thiab khaws cia.
Post lub sij hawm: Lub Xya hli ntuj-15-2022