Lub hom phiaj muaj ntau qhov cuam tshuam, thiab qhov chaw tsim khoom lag luam loj.Nws yog qhov tseem ceeb heev hauv ntau qhov chaw.Yuav luag tag nrho cov khoom siv sputtering tshiab siv cov hlau nplaum muaj zog rau kauv electrons kom nrawm ionization ntawm argon nyob ib ncig ntawm lub hom phiaj, uas ua rau muaj kev nce hauv qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo ntawm lub hom phiaj thiab argon ions.Tam sim no cia peb saib lub luag haujlwm ntawm sputtering lub hom phiaj hauv lub tshuab nqus tsev.
Txhim kho tus nqi sputtering.Feem ntau, DC sputtering yog siv rau txheej hlau, thaum RF AC sputtering yog siv rau cov khoom siv hlau nplaum uas tsis yog-conductive.Lub hauv paus ntsiab lus tseem ceeb yog siv glow tawm mus ntaus argon (AR) ions ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj hauv lub tshuab nqus tsev, thiab cov cations hauv cov ntshav yuav nrawm nrawm mus rau qhov tsis zoo electrode nto raws li cov khoom tawg.Qhov kev cuam tshuam no yuav ua rau cov khoom ntawm lub hom phiaj ya tawm thiab tso rau ntawm substrate los ua ib zaj duab xis.
Feem ntau hais lus, muaj ob peb yam ntxwv ntawm zaj duab xis txheej los ntawm cov txheej txheem sputtering: (1) hlau, alloy lossis insulator tuaj yeem ua rau hauv cov ntaub ntawv zaj duab xis.
(2) Raws li kev teeb tsa tsim nyog, zaj duab xis nrog tib lub ntsiab lus tuaj yeem tsim los ntawm ntau lub hom phiaj thiab tsis zoo.
(3) Kev sib xyaw lossis kev sib xyaw ntawm cov khoom siv lub hom phiaj thiab cov roj molecules tuaj yeem tsim los ntawm kev ntxiv cov pa oxygen lossis lwm cov pa roj hauv cov pa tawm.
(4) Lub hom phiaj tawm tswv yim tam sim no thiab lub sijhawm sputtering tuaj yeem tswj tau, thiab nws yooj yim kom tau txais cov yeeb yaj kiab siab tuab.
(5) Piv nrog rau lwm cov txheej txheem, nws yog qhov tsim nyog rau kev tsim cov yeeb yaj kiab loj hauv cheeb tsam.
(6) Lub sputtered hais yog yuav luag tsis cuam tshuam los ntawm lub ntiajteb txawj nqus, thiab txoj hauj lwm ntawm lub hom phiaj thiab substrate tuaj yeem npaj tau dawb.
Post lub sij hawm: May-17-2022