Tus kws pab tswv yim ntawm RSM yuav qhia rau koj txog qhov zoo ntawm cylindrical thiab planar magnetron sputtering lub hom phiaj?Piv nrog rau lwm lub hom phiaj magnetron sputtering, cylindrical thiab planar magnetron sputtering lub hom phiaj khaws cov txiaj ntsig zoo ntawm cov txheej txheem zoo sib xws ntawm cov phiaj xwm duab plaub, thiab tuaj yeem ua kom siv tau cov hom phiaj los ntawm ob txoj hauv qab no:
(1) Thaum ob pab pawg (plaub) ntawm cov pits nyob rau saum npoo ntawm lub hom phiaj mus txog qhov tob, lub hom phiaj tseem ceeb (sib nqus hlau nplaum) tuaj yeem tig 45 ° txheeb ze rau lub hom phiaj raj, kom lwm qhov chaw ntawm lub hom phiaj raj. uas tsis tau corroded yuav siv tau;
(2) Thaum lub hom phiaj tseem ceeb ntawm lub cylindrical thiab planar magnetron sputtering lub hom phiaj yog tsim los ua lub hom phiaj rotating core (lub hom phiaj tseem ceeb yog rotating thaum sputtering), qhov saum npoo ntawm lub hom phiaj tuaj yeem sib npaug ntawm cov txheej txheem los ntawm txheej tsis muaj qhov.Nyob rau lub sijhawm no, lub hom phiaj yuav siv tau zoo tshaj plaws, thiab kev siv tus nqi ntawm lub hom phiaj tuaj yeem ncav cuag 50% ~ 60% Thaum lub hom phiaj cov khoom siv yog cov hlau muaj txiaj ntsig, qhov no yog qhov tseeb ntawm qhov tseem ceeb.
Los ntawm kev siv lub hauv paus ntsiab lus ntawm cov hlau nplaum nrog cov khau ncej hauv coaxial cylindrical magnetron sputtering lub hom phiaj los daws qhov teeb meem ntawm qhov kawg magnetic teb, lub hom phiaj ntawm lub dav hlau tuaj yeem hloov mus rau hauv lub hom phiaj cylindrical thiab planar magnetron sputtering lub hom phiaj, Lub hom phiaj tuaj yeem ua kom muaj kev siv ntau tshaj ntawm lub hom phiaj. thaum ua kom cov txheej txheem zoo sib xws ntawm lub dav hlau lub hom phiaj thiaj li txhim kho cov txiaj ntsig kev lag luam.
Lub sij hawm xa tuaj: Plaub Hlis-04-2022